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去胶机天玑GW-SST222280
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GW-SST222280 去胶机天玑
拥有完全的自主知识产权,零备件国产化率100%;
相对进口设备,客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。
SST去胶机
设备尺寸:2440*1015*2175mm
适用于50~200mm的晶圆
配备2个工艺处理室
可配置2个药液桶
可定制转子(4/6/8寸)
热氮气温度值:180℃
温度控制精度+1℃
可加热药液最高80℃
工艺参数实时监控
震动值≤300um
芯片破片率:<1/10000
运行率(Uptime):>95%
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