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去胶机天玑GW-SST642-280SMIF
去胶机天玑GW-SST642-280SMIF
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GW-SST642-280SMIF SST去胶机天玑
拥有完全的自主知识产权，零备件国产化率100%;
相对进口设备，客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。
| SST旋转喷淋去胶机 | |
| 可用于金属剥离，光刻胶剥离，去除聚合物及其它要求苛刻的溶剂。该设备适用于50~200mm晶圆 ，配备1个或2个处理腔室，2/4/6个药液桶(可选配)和可定制的转子。采用PLC控制系统，操作更简便，设计更安全，性能更高，储存药液控温系统更稳定。 可支持SECS II/GEM通信协议和Datalog的上传。 | |
| 设备尺寸:2440*2362*2175mm | 可定制转子(4/6/8寸) |
| 热氮气温度值 | 180℃,温度控制精度+5℃℃ |
| 震动值控制 | ≤300um |
| 芯片破片率 | <1/10000 |
| 水痕 | <1/10000 |
| 运行率 | >95% |
| 温度控制精度±1℃ | 可加热药液最高80℃ |
| 工艺参数实时监控 | |
上一个：
电镀机星辉GW-PLP515510M
下一个：
电镀机玉衡GW-EQX642
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