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刻蚀机GW-SAT221280
刻蚀机GW-SAT221280
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GW-SAT221280 刻蚀机
拥有完全的自主知识产权，零备件国产化率100%;
相对进口设备，客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。
| 刻蚀机 | |
| 设备尺寸:1660*1072*1746mm | 刻蚀后清洗 |
| 扩散前清洗 | CMP 后处理 |
| GaAs清洗 | 氧化层刻蚀 |
| 金属层刻蚀 | 晶圆回收刻蚀 |
| UBM 刻蚀 | GaAs 刻蚀 |
| 前道光刻胶去除 | 后道光刻胶去除 |
| 臭氧去胶 |
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