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GW-880S晶圆甩干机

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GW-880S晶圆甩干机

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GW-880S 晶圆甩干机



拥有完全的自主知识产权,零备件国产化率100%;主要性能指标对标Semitool SRD系列,配备先进的一体式触摸工控机及WIndows 10 操作系统,可根据客户的需求进行定制化配置,可选配SECS II/Gem协议功能。上、下两独立双腔室,可实现不同size晶圆互转。

相对进口设备,客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。




 



产品优势  
  应有领域    
1.设备已通过IOS9001认证及SEMI S2认证    
晶圆(wafer)  光刻板  
2. 设备采用进口板材,外观设计精美
硅片(wafer)  掩模版 
3. 主机采用研华工控触摸一体机 
 CPU:InterN2390  1.83GHz; 内存:8G ;硬盘:固态SSD 256G

磷化铟(INP)  光罩版
4. 操作系统win10企业版,设备操作C#sharp 中英文界面;支持SECSⅡ/GEM协议 
 氮化稼(GaN)   蓝宝石 
5. 冷/热氮温度可控,采用PID精准控制     
砷化镓(GaAs)光学材料
6.设备尺寸:856*500*1775mm。双腔4/6/8寸 ,晶圆厚度150μm-1000μm  ≥0.2μm的颗粒≤20粒      
碳化硅(SiC)陶瓷材料  
7. 采用进口伺服马达,最大转速:2800rpm,速度稳定

8. 设备运行平稳,转子动平衡≤0.5g,震动值≤300μm

9. 设备启动、停止时,有提示音乐,上下腔独立EMO

10. 支持清洗钽酸锂,铌酸锂等材质晶圆,支持150μm薄片

11.PLC控制可存储菜单≤999条,产能(WPH)≥200wafer/hr

12. 得到用户一致的好评和认可