GW-880S 晶圆甩干机
拥有完全的自主知识产权,零备件国产化率100%;主要性能指标对标Semitool SRD系列,配备先进的一体式触摸工控机及WIndows 10 操作系统,可根据客户的需求进行定制化配置,可选配SECS II/Gem协议功能。上、下两独立双腔室,可实现不同size晶圆互转。
相对进口设备,客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。
| 产品优势 | 应有领域 | |
| 1.设备已通过IOS9001认证及SEMI S2认证 | 晶圆(wafer) 光刻板 | |
| 2. 设备采用进口板材,外观设计精美 | 硅片(wafer) 掩模版 | |
| 3. 主机采用研华工控触摸一体机 CPU:InterN2390 1.83GHz; 内存:8G ;硬盘:固态SSD 256G | 磷化铟(INP) 光罩版 | |
| 4. 操作系统win10企业版,设备操作C#sharp 中英文界面;支持SECSⅡ/GEM协议 | 氮化稼(GaN) 蓝宝石 | |
| 5. 冷/热氮温度可控,采用PID精准控制 | 砷化镓(GaAs)光学材料 | |
| 6.设备尺寸:856*500*1775mm。双腔4/6/8寸 ,晶圆厚度150μm-1000μm ≥0.2μm的颗粒≤20粒 | 碳化硅(SiC)陶瓷材料 | |
| 7. 采用进口伺服马达,最大转速:2800rpm,速度稳定 | ||
| 8. 设备运行平稳,转子动平衡≤0.5g,震动值≤300μm | ||
| 9. 设备启动、停止时,有提示音乐,上下腔独立EMO | ||
| 10. 支持清洗钽酸锂,铌酸锂等材质晶圆,支持150μm薄片 | ||
| 11.PLC控制可存储菜单≤999条,产能(WPH)≥200wafer/hr | ||
| 12. 得到用户一致的好评和认可 |