您好，欢迎您来到谷微半导体科技（江苏）有限公司！
608a4e128a074.png 24小时服务热线：0513-85706090   
二维码 |
搜索
中文|English
中文|English

导片机开阳GW-TF82S

产品中心 > 导片机 > 导片机开阳GW-TF82S

导片机开阳GW-TF82S

    • 1


分享到：

GW-TF82S 导片机

设备尺寸:2205*800*1970mm


适用于SST去胶机的自动上下料机台，搭配SMIF设备，可完成晶圆从Load Port到主机台工艺腔体内的全自动传片及Mapping检测。

PLC可编程逻辑控制，定制化的高精度重复运动，高等级的安全互锁机制。满足SECS/GEM通讯协议






 

产品优势  
应有领域    
1.设备已通过IOS9001认证及SEMI S2认证                                                  
晶圆（wafer）  光刻板 
2. 设备采用进口板材，外观设计精美                                                  
硅片（wafer）  掩模版   
3.设备尺寸:2205*800*1970mm
磷化铟（INP）  光罩版
4.适用于SST去胶机的自动上下料机台，搭配SMIF设备，
可完成晶圆从Load Port到主机台工艺腔体内的全自动传片及Mapping检测。
氮化稼（GaN)   蓝宝石
5.PLC可编程逻辑控制，定制化的高精度重复运动，高等级的安全互锁机制。满足SECS/GEM通讯协议
砷化镓（GaAs）光学材料
6. 主机采用研华工控触摸一体机；      CPU:InterN2390  1.83GHz； 内存：8G ；硬盘：固态SSD 256G                                                                                         
碳化硅（SiC）陶瓷材料

7. 操作系统win10企业版，设备操作系统C#sharp 中英文界面；

支持SECSⅡ/GEM协议   



8. 冷/热氮温度可控，采用PID精准控制                                                   

9. 采用进口伺服马达，最大转速：2800rpm，速度稳定

10. 设备运行平稳，转子动平衡≤0.5g

11. 设备启动、停止时，有提示音乐，上下腔独立EMO

12. 支持清洗钽酸锂，铌酸锂等材质晶圆，支持150μm薄片

13.得到用户一致的好评和认可


上一个： GW-880S晶圆甩干机
下一个： 电镀机天权GW-A304S