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电镀机天权GW-A304S

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电镀机天权GW-A304S

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GW-A304S 电镀机天权



拥有完全的自主知识产权,零备件国产化率100%;

相对进口设备,客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。 








设备系列半自动系列(SAS):手动装卸晶圆,自动跑货
应用场景研发,新产品验证, 小批量生产等
适用技术涵盖所有现有金属电镀工艺,BOEL大马士革RDL Pilar,TSV,WLP等, 并能为研发量身定做
晶圆尺寸及基材涵盖100-300 mm,包含硅基, 玻璃, 键合片
金属沉淀种类涵盖各种主要电镀品种,Cu,Ni,SnAg,Sn,Au
基本模组配置水平电镀腔配单圈或多圈的惰性或可溶性阳极,离子膜等。真空清洗腔具有预清洗,
真空清洗,清洗,甩干腔体数量选配 1-10
主要优势覆盖,多样,灵活, 可以为客户量身定做。倚靠现有成熟电镀腔体,工艺能力卓越