GW-A304S 电镀机天权
拥有完全的自主知识产权,零备件国产化率100%;
相对进口设备,客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。
| 设备系列 | 半自动系列(SAS):手动装卸晶圆,自动跑货 |
| 应用场景 | 研发,新产品验证, 小批量生产等 |
| 适用技术 | 涵盖所有现有金属电镀工艺,BOEL大马士革RDL Pilar,TSV,WLP等, 并能为研发量身定做 |
| 晶圆尺寸及基材 | 涵盖100-300 mm,包含硅基, 玻璃, 键合片 |
| 金属沉淀种类 | 涵盖各种主要电镀品种,Cu,Ni,SnAg,Sn,Au |
| 基本模组配置 | 水平电镀腔配单圈或多圈的惰性或可溶性阳极,离子膜等。真空清洗腔具有预清洗, 真空清洗,清洗,甩干腔体数量选配 1-10 |
| 主要优势 | 覆盖,多样,灵活, 可以为客户量身定做。倚靠现有成熟电镀腔体,工艺能力卓越 |