GW-A310F 电镀机天权
拥有完全的自主知识产权,零备件国产化率100%;
相对进口设备,客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。
| 核心产品——线性水平电镀机(量产型) | |
| 兼容6寸、8寸、12寸晶圆生产 | 设备尺寸:5826*2632*2174mm |
| 满足Cu、Ni、SnAg、Sn、Au电镀需求 | 全自动机台,可配备3个loadport |
| 大马士革、RDL、TSV、TGV、PILLAR、BUMPING等应用场景 | 真空预浸润及清洗一体化 |
| 4通道流场、阳极电场控制,高均匀性 | 高度均匀性:WiW<5%,WtW<5%,RtR<5% |
| Rapter系统高电镀速率 | 2个 pre-wet SRD及其他电镀Rapter系统高电镀速率 |
| 离子膜应用,低成本 | 量产用户首选 |