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电镀机天权GW-A310F

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电镀机天权GW-A310F

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GW-A310F 电镀机天权



拥有完全的自主知识产权,零备件国产化率100%;

相对进口设备,客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。







核心产品——线性水平电镀机(量产型)


兼容6寸、8寸、12寸晶圆生产设备尺寸:5826*2632*2174mm
满足Cu、Ni、SnAg、Sn、Au电镀需求全自动机台,可配备3个loadport
大马士革、RDL、TSV、TGV、PILLAR、BUMPING等应用场景真空预浸润及清洗一体化
4通道流场、阳极电场控制,高均匀性高度均匀性:WiW<5%,WtW<5%,RtR<5%
Rapter系统高电镀速率2个 pre-wet SRD及其他电镀Rapter系统高电镀速率
离子膜应用,低成本量产用户首选